真空泵常見分類詳解

真空泵是對容器進行抽氣而達到真空效果的設備，是在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。它常用于氣體循環、采樣、抽濾、抽水等，按其工作原理分類如下：    

一、變容真空泵 

它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種。    

1、往復式真空泵：利用泵腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。

2、旋片式真空泵：利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。它大致又有如下幾種分類：    

1、羅茨真空泵

泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。   

2、干式真空泵 

它是一種泵內不用液體密封的變容真空泵，因此，適用于半導體行業、化學工業、制藥工業及食品行業等需要干凈無油的真空環境的工藝場合。 

3、液環真空泵

將帶有多葉片的轉子裝在泵殼內。當它旋轉時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以也被稱為水環式真空泵或油環式真空泵。 

4、油封式真空泵

它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。 

二、動量傳輸泵 

它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。這類泵可分為以下幾種形式：   

1、分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。擴散泵：是目前獲得高真空的主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

2、分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。

3、噴射真空泵：是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種效能的機械裝置。它是利用一定壓力的水流通過對稱均布成一定側斜度的噴出。

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