干式真空泵應用及工作原理

干式真空泵的應用主要有以下幾個方面:

1、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染;

2、在化學工業、醫學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

3、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

4、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

5、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

近年來，干式機械真空泵得到迅速的發展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發研制工作。

工作原理：

干式真空泵運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用（旋轉運動轉變成直線運動)，使氣缸內的活塞作往復運動。
當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。
當活塞達到右邊位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。
當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。