使用等離子清洗機選擇什么等離子組？

等離子清洗機是一種利用等離子體去除物體難以清潔的污漬的儀器。等離子體不屬于常見的三態，它對氣體施加足夠的能量使其變成等離子狀態，然后再利用等離子體的活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。等離子清洗機需要在真空狀態下進行，所以需要真空泵進行抽真空。

而抽真空的速度越快，等離子清洗機的工作效率越高。所以當要加工的產品尺寸較大的話，要使用大型的等離子清洗機，單靠一個真空泵抽真空的話速度會很慢、所需時間會很長，所以這種情況下會采用真空泵組，也就是多個真空泵串聯在一起工作來加快抽真空的速度。真空泵的組合常見的有三種。

是旋式真空泵+羅茨泵；一種是干式真空泵+羅茨泵；另一種是機械泵和分子泵。

1.旋式真空泵+羅茨泵

旋式真空泵和羅茨泵都是油泵所以也可以稱之為油泵組。它以旋式真空泵為底泵，羅茨泵為次級泵組成，這對組合較為常見。這種泵組通常用于對清潔度的要求不高且腔體較大的真空等離子清洗機。

作為常見的泵組有許多優點：

1、它很好的增加了抽速并減少抽真空的時間；

2、結構很簡單，維護方便；

3、價格較低，成本不高，是預算較低客戶的較好選擇。

2.干式螺桿真空泵+羅茨泵

干式螺桿真空泵和羅茨泵組合成干式泵組。該泵組用干式螺桿真空泵作底泵，用羅茨泵作為次泵。因為它們都是干式真空泵，所以沒有油污染，清潔度高于油泵組，由此看出干泵組通常用于對清潔度要求較高的行業，例生物醫學，半導體和航空航天。

干泵組性能很高，具有許多優點：

1、清潔度高，油污較少，清潔次率低；

2、真空速度較高，工作效率提高；

3、工作性能較穩定，噪聲較低；

4、對工作環境的要求低，可以應對各種惡劣的工作環境。

3.機械泵+分子泵

機械泵和分子泵組成一個較為特殊的泵組-分子泵組。分子泵組可以形成清潔度超高的真空環境，所以分子泵組通常使用在對真空環境要求高的設備。例如鍍膜機、刻蝕機和涂布機等。

分子泵組的優點：

1、分子泵組非常快，抽速非常快。

2、分子泵組不會產生油污染。

3、維護簡單。